フレキシブル基材向けに設計された広幅真空スパッタリングシステム。長期的な安定稼働と精密な張力制御を実現します。
HTX ロール・トゥ・ロールコーティングシステムは、最大1.6メートルの広幅基材向けに設計されており、長時間の連続運転における搬送安定性とコーティングの均一性に焦点を当てています。 システムアーキテクチャは、真空環境下での機械的バランス、制御された張力、および再現性のある成膜挙動を優先しています。
1.6m基材搬送システムの内部ビュー。
システムアーキテクチャは、プロセス要件に基づいて、金属および酸化物ベースのスパッタリングターゲットの構成を可能にします。
実現可能性とシステムの適合性評価について、お気軽にお問い合わせください。
HTXエンジニアリングへ連絡可能であれば、以下をお知らせください: